低電阻率測試儀

低電阻率測試儀定義：

參數：

1. 材料尺寸(由選配測試臺和測試方式決定)

直 徑：圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限

方測試臺直接測試方式 180mm×180mm，手持方式不限. 長(高)度： 測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.

BEST-300C 測試儀能夠測量半導體材料體電阻率ρ、方塊電阻（薄片電阻率）R 口

以及體電阻 R，測量時需調整相應的修正系數和選擇相應的功能。

本產品不但提供了電阻率ρ、方塊電阻 R 口以及體電阻 R 測試的基本修正系數設定， 還提供了產品厚度 G、外形和測試位置的修正系數 D 設定，極大的提高了測試精度。測試類別的快捷選擇方式，方便了用戶同時測試多個參數，提高測試效率。整機測量最大相對誤差：≤±3%；整機測量標準不確定度：≤±3%四位半顯示讀數；八量程自動或手動測試；范圍寬： 電阻：10-4Ω～105Ω ；方阻：10-4Ω/□～105Ω/□；正反向電流源修正測量電阻誤差恒流源：電流量程分為： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔；儀器配有恒流源開關可有效保護被測件，即先讓探針頭壓觸在被測材料上，后開恒流源開關，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無影響時，恒流源開關可一直處于開的狀態。可配合多種探頭進行測試；也可配合多種測試臺進行測試。校正功能：可手動或自動選擇測試量程 全量程自動清零。厚度可預設，自動修正樣品的電阻率,無需查表即可計算出電阻率自動進行電流換向,并進行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均值.測薄片時,可自動進行厚度修正。雙電測測試模式，測量精度高、穩定性好.具備溫度補償功能，修正被測材料溫漂帶來的測試結果偏差。比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業效率得以提高。

3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對被測件進行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細的分選結果。測試模式：可連接電腦測試、也可不連接電腦單機測試。接口，Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實現遠程控制。U盤可記錄測試數據軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點的測試數據；可供用戶對數據進行各種數據分

在設定模式下（設定完畢，保存好數據后），選擇測量類別（電阻率ρ、方塊電阻

（薄片電阻率）R 口或體電阻 R 中三選一，切換儀器到“測量"模式，窗口左側“測量" 模式燈亮。電阻測量,注意良好接觸，電壓測試端在內側；半導體參數測試，將探針與樣品良好接觸，注意壓力要適中；由數字顯示窗直接讀出測量值。

注意！測量狀態中，電流量程默認為自動方式，也可調整為手動方式，手動方式下， 電流量程適合的，儀器會穩定顯示數據，電流量程不適合的會給出超量程或欠量程閃爍提示，對于超量程，說明電流過大，要調到較小電流檔；對于欠量程，說明電流過小， 要調到較大電流檔。

低電阻率測試儀注意事項：